Rigaku Corporation, un partenaire mondial dans le domaine des systèmes de métrologie par rayons X et une société du Groupe Rigaku Holdings Corporation (siège social : Akishima, Tokyo ; PDG : Jun Kawakami ; ci-après « Rigaku »), a lancé la production commerciale à grande échelle du XTRAIA XD-3300, un système de diffraction des rayons X à microspot haute résolution.
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XTRAIA XD-3300
Dans un contexte marqué par une forte demande pour l’IA générative et les centres de données, la mise à l’échelle et la réalisation en 3D des semi-conducteurs connaissent une progression sans précédent. Les besoins en mémoire de nouvelle génération, telle que la mémoire à large bande passante (high-bandwidth memory, HBM) et la DRAM 3D, ainsi qu’en semi-conducteurs logiques de 2 nm et des générations suivantes, ne cessent de croître. Pour garantir les performances élevées de ces dispositifs, les fabricants de puces adoptent de plus en plus souvent des super-réseaux (structures intégrées à l’échelle nanométrique) utilisant des procédés Si/SiGe (silicium/silicium-germanium). Pour contrôler ces structures internes avancées de manière appropriée, il est indispensable de disposer d’une technologie de mesure capable d’évaluer avec précision la composition et l’épaisseur des films Si/SiGe, afin d’améliorer les performances et le rendement des produits.
Afin de répondre à ces besoins, Rigaku a développé le XTRAIA XD-3300, un système de métrologie original, entièrement conçu et fabriqué en interne, qu’il s’agisse du système optique à rayons X, du détecteur ou du logiciel de diffraction. C’est le seul système au monde capable d’effectuer des mesures de diffraction directes et non destructives de structures de super-réseaux avec la plus haute résolution sur des pastilles microscopiques placées sur des wafers.
Le système optique à rayons X original du XTRAIA XD-3300 est le facteur clé de sa performance. Combinant miroirs ultra-performants et cristaux courbés, ce système permet d’effectuer des mesures jusqu’à 100 fois plus rapides que les produits précédents. Alors qu’elles prenaient auparavant plusieurs heures, les tâches de mesure par diffraction peuvent désormais être réalisées en quelques minutes seulement.
En outre, le logiciel de diffraction avancé fournit des résultats numériques précis sur la périodicité et la qualité des surfaces limites de ces super-réseaux multicouches complexes.
Rigaku prévoit que les ventes de ce produit dépasseront le milliard de yens (soit environ 6,9 millions USD, sur la base d’un taux de change de 145 JPY pour 1 USD) au cours de l’exercice 2025. La société a déjà achevé l’extension de sa capacité de production, notamment grâce à la construction d’un nouveau bâtiment et à l’augmentation du nombre de cabines de production, qui s’élève désormais à 15. À compter du quatrième trimestre de l’exercice 2025, Rigaku prévoit une expansion rapide de ses ventes grâce à des livraisons à plusieurs fabricants mondiaux de semi-conducteurs. La Société vise un chiffre d’affaires d’approximativement 10 milliards JPY (environ 69 millions USD) pour l’exercice 2030.
Kiyoshi Ogata, vice-président exécutif principal et directeur général de la division Produits, a fait la déclaration suivante :
Le XTRAIA XD-3300 représente le point d’acmé des technologies de pointe de Rigaku. Nous avons déjà livré ce système à plusieurs fabricants de semi-conducteurs de pointe qui développent des semi-conducteurs de nouvelle génération à partir de super-réseaux Si/SiGe. À l’heure où les fabricants s’orientent vers la production en série de semi-conducteurs de nouvelle génération, Rigaku prévoit d’augmenter ses livraisons du XTRAIA XD-3300. Nous sommes convaincus que les techniques de mesure non destructives à haute résolution utilisant la diffraction des rayons X vont prendre de plus en plus d’importance au cours des prochains mois et années, pour devenir une technologie clé dans le contrôle qualité de la production de semi-conducteurs de nouvelle génération.
Caractéristiques du XTRAIA XD-3300
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Observation visuelle directe, non destructive et à haute résolution de structures microscopiques
Fournit une diffraction détaillée et non destructive de l’intérieur des structures multicouches à l’échelle nanométrique, sur des pastilles fines de moins de 40 µm de diamètre. La résolution de classe mondiale se traduit directement par un rendement amélioré. -
Vitesse de mesure 100 fois supérieure à celle des modèles précédents
En utilisant une optique de convergence des rayons X dotée de la toute dernière technologie de miroir, le XTRAIA XD-3300 offre le faisceau de rayons X à spot étroit le plus lumineux au monde. Il peut ainsi effectuer des tâches de mesure complexes à une vitesse fulgurante. Son débit élevé le rend facilement adaptable aux chaînes de production. -
Intègre le seul logiciel capable d’analyser la diffraction des structures complexes de super-réseaux
Le logiciel avancé de diffraction permet d’effectuer une analyse numérique précise de la périodicité et de la qualité des surfaces limites des structures Si/SiGe et autres structures multicouches. Cette fonctionnalité puissante prend en charge la fabrication en grande série ainsi que la phase de développement de dispositifs de mémoire et logiques semi-conducteurs de pointe.
Apprenez-en davantage sur ce produit : https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/xtraia-xd-series/xtraia-xd-3300?setLang=english
Note : Les conversions en USD sont approximatives et sont fournies à titre indicatif uniquement.
À propos de Rigaku Group
Depuis sa fondation en 1951, le groupe Rigaku s’est engagé à mettre ses avancées technologiques au service de la société, notamment à travers son expertise dans l’analyse par rayons X et l’analyse thermique. Présent dans plus de 90 pays et fort de quelque 2 000 collaborateurs répartis sur neuf sites à travers le monde, Rigaku est un partenaire de référence pour l’industrie et les instituts de recherche analytique. Avec un taux d’exportation avoisinant les 70 % et une part de marché remarquablement élevée au Japon, l’entreprise continue d’évoluer aux côtés de ses clients. Ses technologies couvrent des domaines variés tels que les semi-conducteurs, les matériaux électroniques, les batteries, l’environnement, les ressources, l’énergie et les sciences de la vie. Fidèle à sa mission, Rigaku innove en permanence, animée par la volonté d’« améliorer notre monde en ouvrant de nouvelles perspectives ».
Pour plus d'informations, rendez-vous sur rigaku-holdings.com/english
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