Rigaku Corporation, socio de soluciones globales en tecnologías de análisis por rayos X y empresa del Grupo Rigaku Holdings Corporations (sede central: Akishima, Tokio; director ejecutivo: Jun Kawakami; en adelante, “Rigaku”), ha lanzado la producción comercial integral de XTRAIA XD-3300, un sistema de difracción de rayos X de micropuntos de alta resolución
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XTRAIA XD-3300
En contraposición a un escenario que demanda IA generativa y centros de datos, el escalado y la realización en 3D de semiconductores avanza a pasos agigantados. Cada vez se necesita más memoria de próxima generación como memoria de alto ancho de banda (HBM) y DRAM 3D, como así también 2 nm y generaciones posteriores de semiconductores lógicos. Para garantizar el alto rendimiento de estos dispositivos, los fabricantes de chips adoptan cada vez más superredes (estructuras integradas a nano escala) mediante procesos Si/SiGe (silicio/silicio-germanio). A fin de controlar estas avanzadas estructuras internas de manera adecuada, la tecnología de medición que puede evaluar con precisión la composición y el espesor de las películas de Si/SiGe es indispensable ya que es la clave para mejorar el rendimiento y productividad del producto.
Para responder a estas necesidades, Rigaku desarrolló XTRAIA XD-3300, un sistema de metrología original diseñado y construido íntegramente en nuestras instalaciones, desde el sistema óptico de rayos X hasta el software detector y de difracción. Es el único sistema del mundo capaz de realizar mediciones de difracción directas y no destructivas de estructuras de superred con la más alta resolución en almohadillas microscópicas en obleas.
El sistema óptico de rayos X original de XTRAIA XD-3300 es el facilitador clave de rendimiento. Este sistema, que combina espejos de rendimiento ultraalto con cristales curvados, permite que las mediciones se hagan hasta 100 veces más rápido que los productos anteriores. Las tareas de medición de difracción que antes llevaban varias horas ahora se pueden terminar en cuestión de minutos.
Además, el avanzado software de difracción brinda resultados numéricos precisos de la periodicidad y calidad de la superficie límite de estas superredes complejas y multicapa.
Rigaku prevé que las ventas de este producto superarán JPY 1 mil millones (aproximadamente USD 6,9 millones, sobre la base de un tipo de cambio de JPY 145 = USD 1) en el año fiscal 2025. La empresa ya ha finalizado la expansión de la capacidad de producción, incluso ya construyó una fábrica nueva y aumentó la cantidad cabinas de producción a 15. Desde el cuarto trimestre del año fiscal 2025 en adelante, Rigaku pronostica una rápida expansión en las ventas con entregas a múltiples fabricantes de semiconductores globales. La empresa anticipa ventas por aproximadamente JPY 10 mil millones (unos USD 69 millones) en el año fiscal 2030.
Kiyoshi Ogata, vicepresidente ejecutivo sénior y director general de la División de Productos, comentó:
XTRAIA XD-3300 representa la materialización de las tecnologías de vanguardia de Rigaku. Ya hemos suministrado este sistema a varios fabricantes de semiconductores de vanguardia mediante superredes Si/SiGe. Mientras los fabricantes avanzan hacia la producción masiva de semiconductores de próxima generación, Rigaku espera expandir las entregas de XTRAIA XD-3300. Estamos seguros de que las mediciones no destructivas de alta resolución que usan difracción de rayos X serán cada vez más importantes en los próximos meses y años como una tecnología fundamental que brinda control de calidad en la producción de semiconductores de próxima generación.
Características de XTRAIA XD-3300
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Observación no destructiva visual directa de estructuras microscópicas con alta resolución
Proporciona difracción no destructiva detallada del interior de las estructuras multicapa a nano escala, en almohadillas finas de menos de 40 µm de ancho. La resolución de primera clase a nivel mundial contribuye directamente a mejorar el rendimiento -
Aumento de 100 veces en la velocidad de medición en comparación con modelos anteriores
Al usar óptica de convergencia de rayos X con la última tecnología de espejos, XTRAIA XD-3300 provee el haz de rayos X de punto pequeño más brillante del mundo. Esto permite que complete vastas tareas de medición con una velocidad vertiginosa. Su alto rendimiento hace que se adapte fácilmente a las líneas de producción. -
Incorpora al único software capaz de analizar la difracción de estructuras de superredes complejas
El avanzado software de difracción brinda un análisis numérico preciso de la periodicidad y calidad de la superficie límite de Si/SiGe y otras estructuras multicapa. Esta potente capacidad es compatible tanto con la fabricación de gran volumen como con la fase de desarrollo de dispositivos semiconductores de memoria y lógica de vanguardia.
Para obtener más información acerca de este producto, visite: https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/xtraia-xd-series/xtraia-xd-3300?setLang=english
Nota: Las conversiones a USD son aproximadas y sólo con fines de referencia
Acerca del grupo Rigaku
Desde su fundación en 1951, los profesionales en ingeniería del grupo Rigaku se dedican a beneficiar a la sociedad con tecnologías de vanguardia, entre las que se incluyen sus principales áreas de especialidad: los rayos X y el análisis térmico. Con presencia en los mercados de más de 90 países y alrededor de 2000 empleados en nueve sucursales a nivel global, Rigaku es un socio estratégico para la industria y los institutos de investigación. Nuestro porcentaje de ventas en el extranjero ha alcanzado aproximadamente el 70 %, al tiempo que mantenemos una cuota de mercado excepcionalmente alta en Japón. Junto con nuestros clientes, seguimos desarrollándonos y creciendo. A medida que nuestras soluciones continúan expandiéndose desde semiconductores, materiales electrónicos, baterías, medio ambiente, recursos, energía, ciencias de la vida hasta otros sectores de alta tecnología, Rigaku lleva a cabo innovaciones «para mejorar nuestro mundo al impulsar nuevas perspectivas».
Para obtener más información, visite rigaku-holdings.com/english
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