JEOL Ltd. (président-directeur général : Izumi Oi) a développé le « LazEdge », un système SEM équipé d’un système de traitement laser, dont la commercialisation débutera le 25 mai 2026.
Les instruments de préparation de coupes transversales, tels que le système à faisceau ionique focalisé (système FIB), sont couramment utilisés dans les domaines scientifiques et technologiques au sein des instituts de recherche, des universités et des industries. Ces dernières années, la demande s’est accrue pour un système capable de traiter de grandes surfaces à grande vitesse, tout en garantissant une surface traitée de haute qualité. « LazEdge » est un instrument intégrant le MEB de JEOL à la technologie laser exclusive de Hamamatsu Photonics K.K., et permet un traitement laser à l’intérieur de la chambre à échantillon du microscope électronique.
Ce système permet de transférer de manière transparente des échantillons en coupe transversale de haute qualité, obtenus grâce à un traitement à grande vitesse et sur de grandes surfaces, vers des analyses ultérieures, telles que l’observation au MEB, l’analyse élémentaire et l’analyse de l’orientation cristalline, sans exposition à l’environnement extérieur. Il répond ainsi à un large éventail de besoins analytiques, notamment l’analyse d’échantillons métalliques, l’analyse de batteries nécessitant une isolation de l’air et l’analyse des défaillances de semi-conducteurs nécessitant une coupe transversale à grande vitesse.
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LazEdge Laser SEM system
[Caractéristiques principales]
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Coupe transversale de haute qualité à l’intérieur de la chambre d’échantillonnage
En intégrant un système de traitement laser au MEB, LazEdge permet une coupe transversale de haute qualité sur de grandes surfaces avec des structures LIPSS réduites à grande vitesse dans la chambre d’échantillonnage, grâce à l’utilisation d’un système optique propriétaire qui permet la modulation de phase du faisceau laser dans l’espace. -
Traitement stable et propre grâce au « LazEdge Shield »
La technologie de blindage exclusive « LazEdge Shield » minimise la dispersion des débris générés pendant le traitement et permet un traitement propre sans contamination des détecteurs, des colonnes et des parois de la chambre d’échantillonnage. De plus, le système laser peut se focaliser simultanément sur la position de traitement de l’échantillon et sur la position d’irradiation laser sur le blindage. Cette technologie permet de traiter et de nettoyer le blindage (prévention de la contamination) en même temps. Ces technologies offrent une coupe transversale de haute qualité tout en maintenant une puissance stable en permanence. -
Traitement et observation fluides et à haut débit
En installant un blindage à l’intérieur de la chambre d’échantillonnage du MEB et en effectuant le traitement à l’intérieur de la chambre, il est possible de réaliser à la fois le traitement et l’observation de manière fluide et avec un haut débit. Par exemple, dans les mesures EBSD, le traitement au laser seul peut produire une coupe transversale d’une qualité suffisante pour la mesure EBSD. En répétant automatiquement le traitement et la mesure, l’acquisition EBSD 3D est également possible.
[Objectif de vente] 10 unités/an
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Informations sur le produit : système SEM laser LazEdge
https://www.jeol.com/products/scientific/sem/lazedge.php
JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japon
Izumi Oi, président-directeur général
(Code boursier : 6951, marché principal de la bourse de Tokyo)
www.jeol.com
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