Rigaku Corporation, une société du groupe Rigaku Holdings Corporation (siège social : Akishima, Tokyo ; PDG : Jun Kawakami ; ci-après « Rigaku »), a remporté le Prix commémoratif Diana Nyyssonen du meilleur article (ci-après « le prix ») grâce à une méthode révolutionnaire et non destructive de détection des défauts dans les mémoires flash 3D. Cette technologie d’inspection et de mesure (ci-après « la technologie ») repose sur l’utilisation d’un microscope à rayons X à ultra-haute résolution, offrant une visualisation précise et détaillée des structures à l’échelle nanométrique.
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From left: Award recipients Kazuhiko Omote, General Manager, X-ray Research Laboratory; and Raita Hirose, Imaging Group, Advanced Analytical Technology Research Department, X-ray Laboratory (Photo: Business Wire)
Ce prix est attribué à l’équipe ayant présenté la communication la plus remarquable dans les domaines de la mesure, de l’inspection et du contrôle des processus lors des conférences SPIE Advanced Lithography + Patterning. Ces conférences mettent en avant les avancées les plus récentes en matière de technologies lithographiques appliquées à la fabrication des semi-conducteurs.
L’un des défis majeurs sur les sites de production de mémoires flash 3D réside dans la difficulté d’inspecter et de mesurer les structures métalliques intégrées ainsi que les trous extrêmement profonds, appelés « trous de mémoire ».
La technologie développée par l’équipe de Rigaku offre une résolution ultra-haute grâce à l’utilisation des rayons X, avec une limite de détection jusqu’à dix fois inférieure à celle des meilleurs microscopes optiques. En plus de dévoiler des structures nanométriques d’une extrême finesse, elle permet une observation non destructive des dispositifs formés sur des substrats de silicium. Son caractère révolutionnaire a été un élément clé dans l’attribution de ce prix par les conférences SPIE Advanced Lithography + Patterning.
Kazuhiko Omote, directeur général du laboratoire de recherche sur les rayons X et co-auteur de l’article, déclare : « L’intégration de cette technologie dans les équipements de production permettra aux sites de fabrication de mémoires flash 3D d’améliorer leurs rendements et d’optimiser leurs processus. Rigaku prévoit de déployer cette innovation dans un délai d’environ deux ans. »
À l’avenir, Rigaku prévoit d’exploiter cette technologie pour développer de nouvelles innovations, notamment dans l’inspection et la mesure de la conductance des connexions au sein des dispositifs multicouches.
Détails de l'annonce de l'attribution du prix
Titre : analyse non destructive des structures métalliques des mémoires flash 3D à l’aide d’un microscope à rayons X à ultra-haute résolution
URL : https://rigaku-holdings.com/pdf/Proc. of SPIE Vol. 12955 129551B.pdf
À propos de Rigaku Group
Depuis sa fondation en 1951, le groupe Rigaku s’est engagé à mettre ses avancées technologiques au service de la société, notamment à travers son expertise dans l’analyse par rayons X et l’analyse thermique. Présent dans plus de 90 pays et fort de quelque 2 000 collaborateurs répartis sur neuf sites à travers le monde, Rigaku est un partenaire de référence pour l’industrie et les instituts de recherche analytique. Avec un taux d’exportation avoisinant les 70 % et une part de marché remarquablement élevée au Japon, l’entreprise continue d’évoluer aux côtés de ses clients. Ses technologies couvrent des domaines variés tels que les semi-conducteurs, les matériaux électroniques, les batteries, l’environnement, les ressources, l’énergie et les sciences de la vie. Fidèle à sa mission, Rigaku innove en permanence, animée par la volonté d’« améliorer notre monde en ouvrant de nouvelles perspectives ».
Pour plus d'informations, rendez-vous sur rigaku-holdings.com/english
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Sawa Himeno
Responsable du département des communications, Rigaku Holdings Corporation
prad@rigaku.co.jp
+81 90 6331 9843
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